Microusinagem de massaMicrousinagem de massa é um método de fabricação de componentes mecânicos ou elétricos extremamente pequenos. Este processo tipicamente usa wafers de silício, mas, ocasionalmente, utiliza plástico ou cerâmica. A microusinagem começa com uma peça sólida e remove o material até que ele atinja a sua forma final, em oposição à microusinagem de superfície, o qual constrói camada por camada na peça. O método mais comum para a realização de microusinagem em massa é através de mascaramento seletivo e solventes químicos molhados. A nova alternativa para este método é de erosão seca usando um plasma ou o sistema de laser para remover o material indesejado.

Microusinagem é o processo de fabricação de peças muito pequenas. Estes componentes podem ser um diodo ou uma engrenagem dentada, que é do tamanho de uma ponta de caneta. Existem duas formas principais de realizar este processo. A microusinagem de superfície usa as camadas individuais de um wafer de silício de criar uma peça em cima de uma camada existente.

A fim de tornar estes tipos de componentes, os fabricantes usarão a microusinagem a granel. De muitas maneiras, este é semelhante ao esculpir uma estátua de mármore, apenas em uma escala muito menor. A bolacha de silício é processada para remover qualquer parte que é indesejável na peça final. Processamento em massa vão de pequenas a grandes, enquanto o método de superfície vai de pequeno a grande porte.

A grande maioria dos processos a granel utiliza silício. O material é extremamente barato, pois torna-se quase um quarto da crosta da Terra. Além disso, ele possui uma estrutura cristalina muito fina que pode decompor-se em camadas mais finas do que um cabelo humano. Isto permite que o material a trabalhar em um nível microscópico tão bem como no macroscópico.

O método mais comum de microusinagem granel é chamado de ataque químico úmido. Em primeiro lugar, a peça de trabalho é coberta por um material que irá proteger de um solvente selecionado. A máscara protetora é então removido seletivamente para expor as áreas da peça que está saindo. A peça de trabalho é exposta a um solvente, o qual irá então dissolver quaisquer áreas não protegidas e deixar o resto intacta. Posteriormente, o material de máscara restante é removido.
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O mais recente método para microusinagem granel é chamado de erosão seca. Este utiliza um dispositivo de alta precisão, muitas vezes de um laser, para vaporizar o material indesejado. Quando comparado com o processo úmido, ele requer menos passos e uma total ausência de solventes potencialmente perigosos. A principal razão para este processo não ser mais popular é a sua novidade relativa, quando comparado com o método úmido, e as despesas com a compra do equipamento.